赢双YS台湾精锐APEX阿自倍尔azbil安森美ON Semiconductor力控华康HUACON和利时Hollsys引春机械库伯勒KUBLER人民电器People

西门子MAXUMII色谱仪在多晶硅生产中的应用

2015/1/29 14:47:19              

由于太阳能安全可靠、成本低、无污染,所以其需求正不断上升;而且因为电能成本不断增加,与传统能源相比,太阳能的成本更具有竞争力。太阳能取之不尽,用之不竭,将主宰未来的整个能源结构。

利用太阳能电池将太阳能直接转换为电能的技术称为光伏发电技术(PV)。多块电池串联在一起,并封装在玻璃板(图3)内形成一个模块电池。由于全世界对太阳能的需求不断上升,近几年也逐步扩大了太阳能电池和光伏组件的生产。自从1954年第一个太阳能电池问世以来,正以平均每年40%的速度增长。全世界太阳能电池的生产主要集中在美国(50%)、日本(24%)和德国(18%),但是近年来其它国家已经计划或者正在新建很多工厂。太阳级多晶硅光伏电池的原材料是硅(Si),过去主要来源于硅的次品和废品,是在多晶硅的提纯或者在铸锭和晶片制造过程中生产出来的;但是所谓的“太阳级”硅的需求有别于半导体用硅的需求。一方面,太阳级多晶硅的纯度没有必要达到半导体级那么高;但是因为产能巨大必须保证质量稳定。因此,需要进行过程分析,主要是过程气相色谱仪,以监控生产过程,确保纯度要求,并优化多晶硅生产,提高产品质量和产品产量。西门子是享誉世界的过程分析仪和解决方案提供商。在多晶硅领域拥有丰富的经验,可对工艺过程控制和优化提供最佳的解决方案。

西门子解决方案

在线过程分析

通常而言,离线的实验室气相色谱仪用于这个应用,需要将样品取到实验室,不可避免造成样品与空气接触受到污染,而且由于较长的取样间隔导致分析结果的滞后。西门子过程分析仪器具有长期可靠的氯硅烷应用的经验,而且设计了一套解决方案,这套解决方案以过程气相色谱仪为基础,使用了MAXUMII在线色谱仪和特定的样品预处理系统。连续采样连续分析,整个采样分析过程在密闭的系统中完成,这样就不需要断开和连上取样钢瓶,样品不会在大气中暴露,即避免了污染风险,又大大增加了采样频率。西门子已经安装了超过100套这种针对在线氯硅烷分析仪系统。

专业的分析方法和特殊的MAXUMII配置

MAXUMIIPGC由于模块化设计以及分析配置方面具有很高的灵活性而著称。要在多晶硅工艺中实现不同的测量任务,就要使用MAXUMII的不同功能:

  空气浴柱箱,带防腐蚀吹扫

  恒温柱箱或者程序升温

  根据反应和性能特别选择的分离色谱柱类型

  对载气进行的特殊的机械式和化学式干燥

  对吹扫气进行的干燥

  使用特殊的进样和柱切技术(无阀切换,参见下文)

  使用不同类型的检测器

  使用抗腐蚀性物质和特殊的密封组件

  特殊的样品预处理装置

基于丰富的安装经验,样品预处理系统考虑了以下因素:

高度防泄漏设计

所有接触样品的部件(例如,管道、阀、压力调节器和流量计)的材料都是抗腐蚀性物质

使用特殊的密封组件和装配技术

专门针对维护和更换标气瓶等附加的管道吹扫步骤的设计

额外用干燥的吹扫气吹扫机箱和分析小屋

硬件表面防腐蚀

无阀切换

对于使用高分辨率的毛细管柱的色谱仪来说,MAXUMII同时提供了无阀柱切,从而为少量的样品提供了高性能的柱切和长期稳定性及可靠性。无阀柱切可以进行反吹、中心切割,或者分配到两个不同的色谱柱中,而不需要任何切换阀,或者没有和样品直接接触的运动部件。无阀切换是由压差(压差由精准的电子压力控制器控制)通过一个独特的模块(图4)实现的。由于无阀柱切具有零死体积的特征,所以非常适用于带毛细管柱的低流速系统。这就降低了柱切装置的维护频率,提高了分离能力并简化了复杂的分离过程。反吹技术的分析时间非常短,特别是和实验室GC操作相比。

痕量分析

对痕量杂质的分析非常重要,可以确保太阳级多晶硅(99.99%或者99.999%)的质量,特别是硼和磷这种非常重要的杂质。通常ppb级别的痕量组分,例如甲基二氯硅烷(MeHSiCl2)不能使用传统的检测器如TCD和FID来分析。

西门子的解决方案是用脉冲放电氦离子检测器(PDHID,VICI提供,用在MAXUMII)来检测,这个检测器可以检测有机和无机组分。在相应的分离条件下,PDHID的灵敏度比FID或者TCD好至少1个数量级。

交钥匙的测量解决方案

这个解决方案是在多年硅烷分析经验的基础上提出的。从样品提取、样品预处理到分析仪和安装结构,所有部分都是一个紧密联系的测量系统。

连续测量

不同于实验室的间断采样分析,没有人为因素影响,可长时间保持分析数据的重复性和稳定性。

  准确、快速、可靠的测量

  经过全世界无数安装实例验证的特殊的样品预处理系统

  所有接触样品的部件的材料都是非腐蚀性物质

  无阀柱切和高灵敏度的检测器,所以分析性能很高(图6)

  直接的过程控制能力

  通过闭环控制实现过程优化

  通过流路切换和自动标定,实现样品预处理装置的自动控制

  现场安装

  MAXUMII经过认证,可以用于危险区(ATEX,CSA,NEC,NEPSI)

  MAXUMII适用于室温-18oC~+50oC。不需要带门的分析小屋,机柜就足够。

  MAXUMII安装在靠近取样点的位置:缩

  先进的控制和通讯能力

  直接与DCS连接

  整合到通讯网络中(Modbus,以太网TCP/IP)

  远程访问和维护

  通过集线器和网关易于与其它分析仪组网

  与SIMATICScalance组件兼容

  客户利益

  通过使用过程分析仪,可以降低成本,增加产出

  使用在线测量的数据可以进行过程控制和优化

  有效提高开工水平,确保产品质量稳定

  实时监控工艺过程,确保安全生产

  短了管道长度,所以降低了安装成本;快速回路短,所以分析很快。

  • 喜欢 ( 0 )
  • 不喜欢 ( 0 )

网友评论

(查看全部0条评论)

您好 ,喜欢这篇文章吗?  

您还未登录,登录后才可发表评论,请立即登录注册

站点地图| 关于网站| 招聘信息| 法律声明| 联系我们| 友情链接

邮箱:1010196856@qq.com 客服热线:0571-88802870(工作时间:周一至周五8:30至17:30)
Copyright@2014-2016 www.epiol.com All Rights Reserved 版权所有:杭州锐联工业科技有限公司   浙ICP备13025252号-2   公安机关互联网站安全 浙公网安备33010502003191号

微信扫一扫


技术咨询